طیفسنجی جرمی یون ثانویه (SIMS): کاوش در دنیای اتم و مولکول سطح مواد
طیفسنجی جرمی یون ثانویه (SIMS) - ( Secondary Ion Mass Spectrometry ) یک تکنیک آنالیز سطحی قدرتمند است که برای مطالعه ترکیب، ساختار و خواص شیمیایی نمونههای جامد به کار میرود. در این روش، از یک پرتو یون متمرکز با انرژی بالا برای بمباران سطح نمونه استفاده میشود. این امر باعث آزاد شدن یونهای ثانویه از سطح میشود که سپس بر اساس نسبت جرم به بارشان با استفاده از یک طیفسنج جرمی جداسازی و اندازهگیری میشوند. یونهای اولیه معمولاً شامل یونهای سزیوم، گالیم یا اکسیژن هستند.